第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路
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黄作平:“????”
袁泽成:“????”
众人:“????”
当林决说出这话后,在场众人目光一下就变得有意思了起来。
袁泽成的手在空中挥了,表情错愕,仿佛想说些什么,但又找不到合适的形容。
过了好半晌之后。
终于。
袁泽成才像是回过神来一般,带着些许不敢置信,
“......已经想到合适方案!?”
林决微微点头,
“是的,在组建班子的这两天里,我认真研究了下光刻胶新的可行思路......”
说到这里,他轻轻一笑,
“大家都是业内专家,肯定也都清楚,目前全世界所有EUV光刻胶,无论是有机CAR,亦或者金属MOR......
成像原理,无不都依赖于化学键。”
“没错.....”
袁泽成闻言点头。
这件事情确实如林决所言。
无论是国内国外,目前关于光刻胶的研发,都是在光子照射,到分子键断开,然后结构破坏,最后溶解改变,完成材料。
虽然每家机构,在之中工程上有着明显差异,但底层逻辑,却是一样的。
“这已经是最成熟的方法了,但如果要创新,恐怕不是一朝一夕就能成,说不定更浪费时间......”
毕竟创新不但要花费大量人力物力试错。
而且最后的结果,也大概率达不到预期。
他更愿意的是......
看到林决在已有的框架上,对产品进行优化。
“袁教授要不先听听我的想法?”
林决对袁泽成倒是没啥意见。
真理是辩出来的。
在研发过程中,工程师在意见不合时,拍桌子互骂的情景,再常见不过了。
再者......
袁泽成作为魔都光机所的带头人。
刚被调过来打下手,可能目前还没适应身份。
劝林决,也几乎是职业养成的下意识反应。
袁泽成一愣,“额......您说。”
见状,林决便打开电脑的投影仪。
下一刻。
一个标题出现在众人眼中。
【笼促配位团簇EUV光刻胶研发思路】。
这个想法,其实早在冯宴发生意外前,林决便在考虑的了。
最后......
先是通过开启【超频】找到思路,最后经过【全知】进行验证后。
林决终于完成了这套方案。
其核心思路。
是彻底抛弃化学键成像机制,利用自主构建EUV激发二次电子,通过静电场缔合,完成溶解度切换。
全程不破坏分子结构,不拖落配体!
其中,最让林决满意的是,这种方法从根源上.......
完全解决了传统光刻胶材料最大的问题———
真空出气污染!!
目前全世界做法。
只要进行曝光,那么必然产生有机碎片。
如此一来,金属小分子便必然会挥发,然后逆流,给光路镜面,pelliCle薄膜造成污染。
这是传统方法不可逆的缺陷!
但林决却能大力出奇迹,直接窥探到一条全新路径。
.........
“笼促配位团簇?”
众人看着屏幕上那前所未闻的名词,神情都是有发懵。
见状,林决将PPT画面切掉,关于创新思路的相关理论出现在众人眼前。
“在我的新方案中,要用到的核心理论,来自于笼腔电子势自捕理论,配位零解离稳定,库仑场可控缔合,无扩散局域反应......”
这些理论在高端功能材料,配位凝聚态领域,都是非常前沿的分支。
在座作为国内顶尖材料方面学者,对其基本都是有所涉猎。
不过在他们印象中。
像库伦可控,局域无扩散这俩理论。
以往都是用于设计储能,电响应软物质的.......
众人还是头一次看到,有人将他们用到极紫外感光成像之中来!
..........
接下来的一个小时里。
林决从框架上,大概跟众人讲述了下自己的思路。
不过,由于其中理论有理论颇具深度,也只有像袁泽成这般的顶级工程师,才能勉强跟上。
等到阐述完毕后。
林决目光扫了眼众人,自信开口,
“.......嗯,这套理论大概就是如此,大家可以先讨论讨论......有什么看法,等下也可以和我提。”
下方众人先是沉默了一会
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