第360章 超新型配位团簇EUV光刻胶研发思路


儿,然后,便开始了激烈的讨论。

    “这套理论确实很让人惊讶,但让最后让静电作用于图案,如果工况稍微波动,到时候图形很可能全部漂移吧?

    如此一来,品控照样难以保证。”

    “是啊,还有长期累积电子过载怎么办?笼结构可是非常容易崩解的!”

    “我怎么觉得这个想法非常惊艳啊!

    而且在理论上来说,林教授的方法,基本可以做到完全根除光路污染,打破RLS制衡!

    简直不要太牛逼。”

    “我赞成!我们如果走和国外研发同样的道路,估计永远追不上迭代速度。

    林教授想法虽然激进了一些,但却有弯道超车的希望!”

    会议室里,激烈的吵闹声混作一团。

    黄作平见状,在一边对林决笑道,

    “林教授......看来大家都是活力满满啊。”

    这样的争论从来都不是坏事。

    重大的理论突破,颠覆性的技术革新,本就需要如此的淬炼才行!!!

    始作俑者林决只是微微耸肩,以表无辜。

    终于......

    在约莫十分钟的争论后,现场氛围终于逐渐缓和。

    袁泽成作为在座最有资历的工程师,此时被推出来发问,

    “林......林教授,我还是有个疑虑......”

    “请说。”

    “笼促结构人工合成难度极高,您也清楚,只要存在少量破笼,整个EUV高能光子依旧会被打乱。

    最后导致的结果,和真空污染其实并没有什么差别......”

    “是的。”

    林决点了点头,并未否认这套理论的缺陷。

    闻言,袁泽成继续道,

    “......从工程上来说,我们还没成熟的产业链......容错率太低,沉没到时候拉都拉不回来......”