第一百四十三章 小满称骨知路短
,跑几片晶圆,发现良率低,就回来改设计,这叫‘闭门造车’。H公司当年,也是经历了成千上万次试错,才把良品率提上去的。”
他转过身,目光灼灼地看着老秦:“我有个提议。深微半导体,愿意做这台光刻机的‘小白鼠’。你把机器,搬到我们凯里厂的试验线去。我们不计成本,用它来流片我们的‘长城三号’芯片——就是那个基于28nm制程的通用工业MCU。哪怕良率只有1%,我们也照单全收。我们要用‘量产’的压力,来倒逼设备的改进。发现问题,当场解决;出现偏差,立刻调整。这叫‘以用促研’!”
老秦愣住了。把价值上亿的光刻机搬走?还要不计成本地“试错”?这简直是天方夜谭!但他看着赵磊坚定的眼神,知道这不是玩笑。
“赵总,这……这风险太大了!万一机器在我们那儿出了问题,或者始终提不上去良率,这责任……”
“责任,我来担。”赵磊打断他,“老秦,我们现在不是在谈生意,是在谈‘共存亡’。H公司的制裁,卡的是整个民族的脖子。光刻机是心脏,我们是身体。心脏跳不动,身体再强也没用。现在心脏有了,虽然还弱,但我们不能因为它弱,就把它冷藏起来。我们要让它跳,哪怕跳得不稳,也要让它跳!跳着跳着,它就有劲了!”
这番话,说得老秦热血沸腾。他想起陈凡之前托人带的话:“中国芯,不是造出来的,是熬出来的。”今天,赵磊用“以用促研”这四个字,把“熬”字的具体路径,指了出来。
“好!”老秦一拍大腿,“赵总,冲你这句话,我老秦豁出去了!机器,我明天就安排人拆,给你们送过去!调试团队,我亲自带!不把良品率提到50%以上,我老秦不回上海!”
一个月后,凯里厂试验线。
SMEE的28nm光刻机,被安置在最洁净的一个车间里。它没有在宽敞明亮的上海实验室,而是在这个大山深处的老厂房里,开始了它真正的“职业生涯”。
调试的过程,远比想象中艰难。机器震动、温度漂移、软件bug……各种各样的问题层出不穷。赵磊几乎住在车间里,和老秦的团队、刘工的团队,一起盯着每一片晶圆的测试结果。
每当出现良品,哪怕只有一片,大家就像过年一样兴奋。每当出现废片,大家就围着机器,从光学路径到化学反应,从机械结构到控制算法,一点点排查,一点点修正。
赵磊提出了“数据众筹”的思路。他将凯里厂流片过程中遇到的每一个问题、每一次调整、每一组参数,都匿名化后,上传到“华夏EDA”开源社区。很快,国内各大高校、研究所、甚至其他芯片设计公司的工程师们,都参与了进来。有人提供算法优化建议,有人分析物理机理,有人分享类似问题的解决经验。
这不再是一家企业的攻关,而是一场全民参与的“光刻机大练兵”。SMEE的工程师们,根据一线反馈,快速迭代软件版本,优化机械结构。刘工团队,则根据设备特性,反向调整芯片设计和工艺配方。
这是一个痛苦的、螺旋上升的过程。前三个月,良品率一直在个位数徘徊。厂里堆满了报废的晶圆,像一座座小山。财务总监看着账本,心惊肉跳。但赵磊没有动摇,他一次次给团队打气:“每一片废片,都是铺路石。我们踩着它们,才能走向光明。”
奇迹,发生在第四个月。
那天凌晨,当新一批晶圆完成切割、封装、测试后,良品率数字定格在了47%。虽然离国际领先的90%以上还有差距,但这是一个质的飞跃!这意味着,国产28nm光刻机,已经具备了“可用”的基础!
消息传出,整个凯里厂沸腾了。老秦抱着刘工,两个五六十岁的老汉,像孩子一样又哭又笑。赵磊站在人群中,看着那台轰鸣的国产光刻机,眼中泪光闪烁。他知道,这47%的良品率,不是冷冰冰的数字,而是无数人心血的结晶,是中国芯片产业从“无”到“有”,从“不可用”到“可用”的伟大跨越。
他立刻将这个消息,通过加密信道,发给了全球各个“影子节点”。
南非地下机房,顾渊看着报告,缓缓点头:“设备稳了,心就稳了。”
阿巴斯港仓库,朴成焕听到消息,放下了手中的扳手,对着东方深深鞠了一躬。
德国汉斯的实验室,他默默地将深微最新发布的工艺设计套件(PDK),导入到EDA工具中。虽然他身处西方,但那一刻,他感觉自己和东方的同胞们,站在了一起。
赵磊没有沉浸在喜悦中太久。他深知,47%只是开始。H公司不会坐视中国光刻机成熟。他们一定会动用各种手段,从供应链、从技术、从市场,进行新一轮的打压。
果然,没过多久,H公司联合ASML(阿斯麦),放出风声:任何使用SMEE光刻机生产芯片的企业,都将被视为“安全风险”,H公司将不再提供任何技术支持,并可能面临专利诉讼。
这招“连坐”,旨在孤立刚刚起步的国产光刻机生态。
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